1994年8月25日，国务院批准首期开发面积4.3平方公里，东起太原路，西至乌昌一级公路，南北分别以河南路和迎宾路为界。

     1998年11月5日，乌鲁木齐市人民政府批准北新区用地2.03平方公里，东起以报仓库、部队，西至石油地调处，南至迎宾路，北临乌鲁木齐国际机场，后因机场扩建，用地面积调整为1.90平方公里。        
           
     2001年8月30日，新疆维吾尔自治区批准二期开发面积9.87平方公里，位于乌昌公路以南，过境公路以西，二宫东站至北站铁路线以北，104团海昌公路以东。
           
     2006年3月29日，新疆维吾尔自治区批准二期延伸区开发面积5.25平方公里，地处乌鲁木齐市西面骑马山地区，位于乌鲁木齐经济技术开发区二期用地南侧，北临兰新铁路复线，西临104团农地，东至规划喀什路，南至胜天公司荒山绿化界线。
           
     2007年6月4日，乌鲁木齐市人民政府、新疆生产建设兵团批准兵团十二师合作区土地总开发面积70平方公里，开发区合作区北至火车北站南侧，东至九家湾西侧荒山，南至西山公路北侧山麓，西至南戈壁两处石油泉子以东，具体包括十二师104团一连、二连、奶牛场及砖厂用地，首期开发面积15.1平方公里。

      2010年6月，乌鲁木齐市委九届十次全会提出了开发区与头屯河区区政合一初步构想。2011年1月2日，自治区党委、市委宣布开发区（头屯河区）党政领导班子，这标志着区政合一工作正式启动。区政合一后，开发区（头屯河区）区域规划面积扩大到480平方公里，发展空间更加广阔，为资源整合和产业集聚提供了足够的承载空间，有利于优化区域功能布局，高起点、高标准、大手笔规划和推进经济社会整体跨越。

      2012年9月15日，国务院办公厅正式复函自治区人民政府和商务部，同意乌鲁木齐经济技术开发区扩区，继续实行现行国家级经济技术开发区政策。开发区扩区后，规划面积达到15.66平方公里，共分八个区块。主要包括开发区一期4.28平方公里、北新区0.94平方公里、二期6.06平方公里（不含出口加工区）、高铁核心区4.02平方公里（不含卫星路以东）和高铁站东侧0.36平方公里。扩大乌鲁木齐经济技术开发区，将有助于吸纳新项目，优化产业结构，进一步提升综合竞争实力，壮大首府西翼产业发展带，依托乌鲁木齐国际机场和铁路等交通优势，打造全疆最大的物流中心和总部基地，充分发挥窗口、示范、辐射和带动作用。

                                                                                                                                                                                     2020年9月